上海半導體晶圓加熱盤廠家 無錫市國瑞熱控科技供應

針對半導體晶圓研磨后的應力釋放需求，國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩定。采用鋁合金基體與柔性導熱墊層復合結構，導熱墊層硬度 Shore A 30，可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸，確保熱量均勻傳遞。溫度調節范圍 30℃-150℃，控溫精度 ±0.8℃，支持階梯式升溫（每階段升溫 5℃-10℃，保溫 10-30 分鐘），緩慢釋放晶圓內部機械應力。配備氮氣保護系統，避免加熱過程中晶圓表面氧化，且加熱盤表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm，無顆粒劃傷晶圓風險。與硅產業集團、中環股份等晶圓廠商合作，使研磨后晶圓翹曲度降低 20% 以上，提升后續光刻、刻蝕工藝的良率。升溫迅速表面溫差小，過熱保護**耐用，為設備護航。上海半導體晶圓加熱盤廠家

國瑞熱控半導體測試用加熱盤，專為芯片性能測試環節的溫度環境模擬設計，可精細復現芯片工作時的溫度條件。設備溫度調節范圍覆蓋 - 40℃至 150℃，支持快速升溫和降溫，速率分別達 25℃/ 分鐘和 20℃/ 分鐘，能模擬不同工況下的溫度變化。加熱盤表面采用柔性導熱墊層，適配不同厚度的測試芯片，確保熱量均勻傳遞至芯片表面，溫度控制精度達 ±0.5℃。配備可編程溫度控制系統，可預設多段溫度曲線，滿足長時間穩定性測試需求。設備運行時無電磁場干擾，避免對測試數據產生影響，同時具備過溫、過流雙重保護功能，為半導體芯片的性能驗證與質量檢測提供專業溫度環境。廣東高精度均溫加熱盤生產廠家低熱容設計升溫降溫快，實現高效熱循環，適合快速變溫工藝。

針對半導體制造中的高真空工藝需求，國瑞熱控開發**真空密封組件，確保加熱盤在真空環境下穩定運行。組件采用氟橡膠與金屬骨架復合結構，耐溫范圍覆蓋 - 50℃至 200℃，可長期在 10??Pa 真空環境下使用無泄漏。密封件與加熱盤接口精細匹配，通過多道密封設計提升真空密封性，避免反應腔體內真空度下降影響工藝質量。組件安裝過程簡單，無需特殊工具，且具備良好的耐磨性與抗老化性能，使用壽命超 5000 次拆裝循環。適配 CVD、PVD 等真空工藝用加熱盤，與國產真空設備廠商的反應腔體兼容，為半導體制造中的高真空環境提供可靠密封保障，助力提升工藝穩定性與產品良率。

國瑞熱控封裝測試**加熱盤聚焦半導體后道工藝需求，采用輕量化鋁合金材質，通過精密加工確保加熱面平整度誤差小于 0.05mm，適配不同尺寸封裝器件的測試需求。加熱元件采用片狀分布設計，熱響應速度快，可在 5 分鐘內將測試溫度穩定在 - 40℃至 150℃之間，滿足高低溫循環測試、老化測試等場景要求。表面采用防粘涂層處理，減少測試過程中污染物附著，且易于清潔維護。配備可編程溫控系統，支持自定義測試溫度曲線，可存儲 100 組以上測試參數，方便不同型號器件的測試切換。與長電科技、通富微電等封裝測試企業合作，適配其自動化測試生產線，為半導體器件可靠性驗證提供精細溫度環境，助力提升產品良率。細節處精心設計，接口布線密封優良，性能穩定持久。

面向半導體實驗室研發場景，國瑞熱控小型加熱盤以高精度與靈活性成為科研得力助手。產品尺寸可定制至 10cm×10cm，適配小規格晶圓與實驗樣本的加熱需求，溫度調節范圍覆蓋室溫至 500℃，**小調節精度達 1℃。采用陶瓷加熱元件與鉑電阻傳感器組合，控溫穩定性達 ±0.5℃，滿足材料研發中對溫度參數的精細控制。設備支持 USB 數據導出功能，可實時記錄溫度變化曲線，便于實驗數據追溯與分析。整體采用便攜式設計，重量* 1.5kg，且具備過熱保護功能，當溫度超過設定閾值時自動斷電，為半導體新材料研發、工藝參數優化等實驗工作提供可靠溫控工具。高效電熱轉換效率，降低運營成本，實現綠色生產目標。廣東高精度均溫加熱盤生產廠家

持續改進服務理念，聽取客戶反饋，不斷提升產品性能。上海半導體晶圓加熱盤廠家

無錫國瑞熱控 PVD 工藝**加熱盤，專為物***相沉積環節的嚴苛溫控需求設計。作為晶圓加工的**載體與射頻回路下電極，其采用陶瓷與高純金屬復合基材，經精密研磨確保加熱面平面度誤差小于 0.02mm，為薄膜均勻生長提供穩定基底。內部螺旋狀加熱元件與均溫層協同作用，使晶圓表面溫度均勻性控制在 ±1℃以內，適配 6 英寸至 12 英寸不同規格晶圓。設備整體采用無揮發潔凈工藝處理，在高真空環境下無雜質釋放，搭配快速升溫技術（升溫速率達 30℃/ 分鐘），完美契合 PVD 工藝中對溫度穩定性與生產效率的雙重要求，為半導體薄膜制備提供可靠溫控支撐。上海半導體晶圓加熱盤廠家

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著先進的發展理念，先進的管理經驗，在發展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創新，時刻準備著迎接更多挑戰的活力公司，在江蘇省等地區的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及客戶資源，在業界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是**好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發圖強、一往無前的進取創新精神，努力把公司發展戰略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手走向更好的未來，創造更有價值的產品，我們將以更好的狀態，更認真的態度，更飽滿的精力去創造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！