高精度均溫加熱盤非標定制 無錫市國瑞熱控科技供應

國瑞熱控氮化鋁陶瓷加熱盤以 99.5% 高純氮化鋁為基材，通過干壓成型與 1800℃高溫燒結工藝制成，完美適配半導體高溫工藝需求。其熱導率可達 220W/mK，熱膨脹系數* 4.03×10??/℃，與硅晶圓熱特性高度匹配，有效避免高溫下因熱應力導致的晶圓翹曲。內部嵌入鎢制加熱元件，經共燒工藝實現緊密結合，加熱面溫度均勻性控制在 ±1℃以內，工作溫度上限提升至 800℃，遠超傳統鋁合金加熱盤的 450℃極限。表面經精密研磨拋光處理，平面度誤差小于 0.01mm，可耐受等離子體長期轟擊無損傷，在晶圓退火、氧化等高溫工藝中表現穩定，為國產替代提供高性能材質解決方案。電熱轉換效率高，降低運營成本，實現綠色生產。高精度均溫加熱盤非標定制

無錫國瑞熱控 PVD 工藝**加熱盤，專為物***相沉積環節的嚴苛溫控需求設計。作為晶圓加工的**載體與射頻回路下電極，其采用陶瓷與高純金屬復合基材，經精密研磨確保加熱面平面度誤差小于 0.02mm，為薄膜均勻生長提供穩定基底。內部螺旋狀加熱元件與均溫層協同作用，使晶圓表面溫度均勻性控制在 ±1℃以內，適配 6 英寸至 12 英寸不同規格晶圓。設備整體采用無揮發潔凈工藝處理，在高真空環境下無雜質釋放，搭配快速升溫技術（升溫速率達 30℃/ 分鐘），完美契合 PVD 工藝中對溫度穩定性與生產效率的雙重要求，為半導體薄膜制備提供可靠溫控支撐。中國香港晶圓加熱盤生產廠家寬泛工作溫度范圍，滿足低溫烘烤到高溫燒結不同需求。

面向深紫外光刻工藝對晶圓預處理的需求，國瑞熱控配套加熱盤以微米級溫控助力圖形精度提升。采用鋁合金基體與石英玻璃復合結構，加熱面平面度誤差小于 0.01mm，確保晶圓與光刻掩膜緊密貼合。通過紅外加熱與接觸式導熱協同技術，升溫速率達 15℃/ 分鐘，溫度調節范圍 60℃-120℃，控溫精度 ±0.3℃，適配光刻膠軟烘、堅膜等預處理環節。表面經防反射涂層處理，減少深紫外光反射干擾，且具備快速冷卻功能，從 120℃降至室溫*需 8 分鐘，縮短工藝間隔。與上海微電子光刻機適配，使光刻圖形線寬偏差控制在 5nm 以內，滿足 90nm 至 28nm 制程的精密圖形定義需求。

國瑞熱控依托 10 余年半導體加熱盤研發經驗，提供全流程定制化研發服務，滿足客戶特殊工藝需求。服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產五大環節，可根據客戶提供的工藝參數（溫度范圍、控溫精度、尺寸規格、環境要求等），定制特殊材質（如高純石墨、氮化硅陶瓷）、特殊結構（如多腔體集成、異形加熱面）的加熱盤。配備專業研發團隊（含材料學、熱力學、機械設計工程師），采用 ANSYS 溫度場仿真軟件優化設計方案，原型樣品交付周期**短 10 個工作日，且提供 3 次**方案迭代。已為國內多家半導體設備廠商定制**加熱盤，如為某企業開發的真空腔體集成加熱盤，實現加熱與勻氣功能一體化，滿足其特殊制程的空間限制需求。重視客戶反饋，持續改進產品服務，體驗專業高效合作。

國瑞熱控光刻膠烘烤加熱盤以微米級溫控精度支撐光刻工藝，采用鋁合金基體與陶瓷覆層復合結構，表面粗糙度 Ra 小于 0.1μm，減少光刻膠涂布缺陷。加熱面劃分 6 個**溫控區域，通過仿真優化的加熱元件布局，使溫度均勻性達 ±0.5℃，避免烘烤過程中因溫度差異導致的光刻膠膜厚不均。溫度調節范圍覆蓋 60℃至 150℃，升溫速率 10℃/ 分鐘，搭配無接觸紅外測溫系統，實時監測晶圓表面溫度并動態調節。設備兼容 6 英寸至 12 英寸光刻機配套需求，與 ASML、尼康等設備的制程參數匹配，為光刻膠的軟烘、堅膜等關鍵步驟提供穩定溫控環境。加熱盤及配套一站式，省時省心，長期可信賴供應商。徐匯區陶瓷加熱盤非標定制

表面特殊處理，耐腐蝕易清潔，適用化學食品領域。高精度均溫加熱盤非標定制

面向半導體實驗室研發場景，國瑞熱控小型加熱盤以高精度與靈活性成為科研得力助手。產品尺寸可定制至 10cm×10cm，適配小規格晶圓與實驗樣本的加熱需求，溫度調節范圍覆蓋室溫至 500℃，**小調節精度達 1℃。采用陶瓷加熱元件與鉑電阻傳感器組合，控溫穩定性達 ±0.5℃，滿足材料研發中對溫度參數的精細控制。設備支持 USB 數據導出功能，可實時記錄溫度變化曲線，便于實驗數據追溯與分析。整體采用便攜式設計，重量* 1.5kg，且具備過熱保護功能，當溫度超過設定閾值時自動斷電，為半導體新材料研發、工藝參數優化等實驗工作提供可靠溫控工具。高精度均溫加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優秀人才，集企業奇思，創經濟奇跡，一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創新天地，繪畫新藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的信譽，信奉著“爭取每一個客戶不容易，失去每一個用戶很簡單”的理念，市場是企業的方向，質量是企業的生命，在公司有效方針的領導下，全體上下，團結一致，共同進退，齊心協力把各方面工作做得更好，努力開創工作的新局面，公司的新高度，未來無錫市國瑞熱控科技供應和您一起奔向更美好的未來，即使現在有一點小小的成績，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗，才能繼續上路，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想！