紅外光譜熱紅外顯微鏡設備 誠信互利 蘇州致晟光電科技供應

致晟光電研發的熱紅外顯微鏡配置了性能優異的InSb（銦銻）探測器，能夠在中波紅外波段（3–5 μm）有效捕捉熱輻射信號。該材料在光電轉換方面表現突出，同時具備極低的本征噪聲。

在制冷條件下，探測器實現了納瓦級的熱靈敏度，并具備20mK以內的溫度分辨能力，非常適合高精度、非接觸式的熱成像測量需求。通過應用于顯微級熱紅外檢測系統，該探測器能夠提升空間分辨率，達到微米級別，并保持良好的溫度響應線性，從而為半導體器件及微電子系統中的局部發熱、熱量擴散與瞬態熱現象提供細致表征。與此同時，致晟光電在光學與熱控方面的自主設計也發揮了重要作用。

高數值孔徑的光學系統與穩定的熱控平臺相結合，使InSb探測器能夠在多物理場耦合的復雜環境中實現高時空分辨的熱場成像，為電子器件失效機理研究、電熱效應分析及新型材料熱學性能測試提供了可靠的工具與支持。 熱紅外顯微鏡利用其高分辨率，觀察半導體制造過程中的熱工藝缺陷 。紅外光譜熱紅外顯微鏡設備

熱紅外顯微鏡是半導體失效分析與缺陷定位的三大主流手段之一（EMMI、THERMAL、OBIRCH），通過捕捉故障點產生的異常熱輻射，實現精細定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表現為局部功耗異常，導致微區溫度升高。顯微熱分布測試系統結合熱點鎖定技術，能夠高效識別這些區域。熱點定位是一種動態紅外熱成像方法，通過調節電壓提升分辨率與靈敏度，并借助算法優化信噪比。在集成電路（IC）分析中，該技術廣泛應用于定位短路、ESD損傷、缺陷晶體管、二極管失效及閂鎖問題等關鍵故障。紅外光譜熱紅外顯微鏡設備熱紅外顯微鏡能透過硅片或封裝材料，對半導體芯片內部熱缺陷進行非接觸式檢測。

對于3D封裝產品，傳統的失效點定位往往需要采用逐層去層的方法，一層一層地進行異常排查與確認，不僅耗時長、人工成本高，還存在對樣品造成不可逆損傷的風險。借助Thermal EMMI設備，可通過檢測失效點熱輻射在傳導過程中的相位差，推算出失效點在3D封裝結構中的深度位置（Z軸方向）。這一方法能夠在不破壞封裝的前提下，快速判斷失效點所在的芯片層級，實現高效、精細的失效定位。如圖7所示，不同深度空間下失效點與相位的關系為該技術提供了直觀的參考依據。

熱紅外顯微鏡（ThermalEMMI）的另一大優勢在于其非接觸式檢測能力，相較于傳統接觸式方法具有優勢。傳統接觸式檢測通常需要使用探針直接接觸被測設備，這不僅可能因機械壓力導致芯片焊點形變或線路微損傷，還可能因靜電放電（ESD）對敏感半導體器件造成破壞，從而引入額外風險和測量誤差。對于精密電子元件和高精度設備而言，這種潛在損傷可能嚴重影響檢測結果的可靠性。

熱紅外顯微鏡通過捕捉設備在運行過程中釋放的熱輻射信號，實現完全非侵入式的檢測。這不僅能夠在設備正常工作狀態下獲取實時熱分布數據，還有效避免了接觸帶來的干擾或損傷，提高了整個檢測流程的**性和穩定性。工程師可以依靠這些高保真數據進行精確故障診斷、性能評估以及早期異常識別，從而優化研發與生產流程。非接觸式的技術優勢，使熱紅外顯微鏡成為半導體芯片、微電子系統及精密印制電路板等電子組件檢測的理想選擇，為現代電子產業提供了更**、高效和可靠的分析手段。 熱紅外顯微鏡可用于研究電子元件在不同環境下的熱行為 。

隨著國內半導體產業的快速發展，Thermal EMMI 技術正逐步從依賴進口轉向自主研發。國產 Thermal EMMI 設備不僅在探測靈敏度和分辨率上追平甚至超越部分國際產品，還在適配本土芯片工藝、降低采購和維護成本方面展現出獨特優勢。例如，一些國產廠商針對國內封測企業的需求，對探測器響應波段、樣品臺尺寸、自動化控制系統等進行定制化設計，更好地適應大批量失效分析任務。同時，本土研發團隊能夠快速迭代軟件算法，如引入 AI 圖像識別進行熱點自動標注，減少人工判斷誤差。這不僅提升了檢測效率，也讓 Thermal EMMI 從傳統的“精密實驗室設備”走向生產線質量控制工具，為國產芯片在全球競爭中提供可靠的技術支撐。熱紅外顯微鏡憑借高靈敏度探測器，實現芯片微米級紅外熱分布觀察，鎖定異常熱點 。熱紅外顯微鏡規格尺寸

熱紅外顯微鏡憑借≤0.001℃的溫度分辨率，助力復雜半導體失效分析 。紅外光譜熱紅外顯微鏡設備

作為國內少數掌握 Thermal EMMI 技術并實現量產的企業之一，致晟光電在設備國產化和產業落地方面取得了雙重突破。設備在光路設計、探測器匹配、樣品平臺穩定性等關鍵環節均采用自主方案，確保整機性能穩定且易于維護。更重要的是，致晟光電深度參與國內封測廠、晶圓廠及科研機構的失效分析項目，將 Thermal EMMI 不僅用于研發驗證，還延伸至生產線質量監控和來料檢測。這種從實驗室走向產線的轉變，意味著 Thermal EMMI 不再只是少數工程師的“顯微鏡”，而是成為支撐國產半導體產業質量提升的重要裝備。通過持續優化算法、提升檢測效率，致晟光電正推動 Thermal EMMI 技術在國內形成成熟的應用生態，為本土芯片制造保駕護航。紅外光譜熱紅外顯微鏡設備