北京微電子精密溫控 推薦咨詢 南京拓展科技供應(yīng)

在中國(guó)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展和產(chǎn)業(yè)升級(jí)，半導(dǎo)體、航空航天、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域?qū)Ω呔墉h(huán)境控制設(shè)備的需求急劇增長(zhǎng)。據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)QYResearch預(yù)測(cè)，全球高精密環(huán)境控制設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)在未來五年內(nèi)將以年均超過8%的復(fù)合增長(zhǎng)率增長(zhǎng)，到2028年將達(dá)到數(shù)十億美元規(guī)模。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，隨著工藝向更高精度邁進(jìn)，2nm工藝要求溫度控制精度從±0.1℃提升至±2mK，全球晶圓廠每年在溫度控制設(shè)備上的投入超過50億美元；光電光學(xué)領(lǐng)域，高duan光學(xué)顯微鏡、量子光學(xué)實(shí)驗(yàn)等對(duì)溫度控制精度要求極高；量子計(jì)算領(lǐng)域，量子比特對(duì)溫度極為敏感，高精密環(huán)控艙是必需設(shè)備，未來5年需求可能呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)。同時(shí)，各國(guó)產(chǎn)業(yè)政策也推動(dòng)了高精密環(huán)境控制設(shè)備市場(chǎng)的發(fā)展。美國(guó)《芯片與科學(xué)法案》、歐盟“歐洲量子旗艦計(jì)劃”、中國(guó)《十四五集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》等政策的出臺(tái)，為行業(yè)發(fā)展提供了良好的政策環(huán)境和資金支持。
精密測(cè)量要求環(huán)境高度潔凈，以防止微粒、塵埃和顆粒物影響測(cè)量精度。可以使用HEPA過濾器、潔凈工作臺(tái)等。北京微電子精密溫控

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專業(yè)領(lǐng)域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的專長(zhǎng)，同時(shí)匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)前列工程師，致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與**重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景，科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，持續(xù)**超高精密環(huán)控技術(shù)革新。上海步入式精密溫控?fù)碛薪Y(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，持續(xù)**超高精密環(huán)控技術(shù)革新。

控制精度是衡量精密環(huán)控設(shè)備的關(guān)鍵指標(biāo)，通常以溫度和濕度的偏差值表示，如 ±0.1℃和 ±1% RH，偏差值越小，精密環(huán)控設(shè)備的控制能力越強(qiáng)。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的精密環(huán)控設(shè)備運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，能達(dá)到 0.1% 的控制輸出精度。同時(shí)，精密環(huán)控設(shè)備內(nèi)部的溫濕度均勻性也很重要，能確保各個(gè)位置的物品處于相同環(huán)境條件；而且在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中，精密環(huán)控設(shè)備的溫濕度控制需保持穩(wěn)定，波動(dòng)范圍越小越好，像極測(cè)的設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。  

極測(cè)精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動(dòng)**保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動(dòng)保護(hù)機(jī)制，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷和晶圓報(bào)廢。 極測(cè)先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅(jiān)實(shí)的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測(cè)精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。專為高精度恒溫恒濕控制設(shè)計(jì)的PID算法，使實(shí)驗(yàn)室內(nèi)溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動(dòng)控制。擁有全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能針對(duì)用戶的個(gè)性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢，且配備自動(dòng)**保護(hù)系統(tǒng)，確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行無(wú)憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉(cāng)內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達(dá)成溫濕度及潔凈度要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動(dòng)保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級(jí)控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級(jí)電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級(jí)至 ±0.002℃。我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。北京膜厚測(cè)量?jī)x精密溫控

一般來說，潔凈室的潔凈度要達(dá)到Class 1到Class 100的標(biāo)準(zhǔn)。北京微電子精密溫控

不同場(chǎng)景對(duì)精密環(huán)控設(shè)備的設(shè)計(jì)和功能要求差異很大，比如實(shí)驗(yàn)室用的精密環(huán)控設(shè)備與工業(yè)生產(chǎn)線配套的精密環(huán)控設(shè)備，在結(jié)構(gòu)和性能側(cè)重上就大不相同。其次要明確溫濕度要求，根據(jù)實(shí)際需求確定所需控制的溫度和濕度穩(wěn)定性參數(shù)，這是精密環(huán)控設(shè)備能否滿足關(guān)鍵需求的基礎(chǔ)。不同潔凈度標(biāo)準(zhǔn)對(duì)精密環(huán)控設(shè)備的過濾系統(tǒng)等設(shè)計(jì)影響很大。除了溫濕度和潔凈度，如光照、氣壓等，這會(huì)影響精密環(huán)控設(shè)備的功能配置。另外，使用頻率也不容忽視，如果需要長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用，精密環(huán)控設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性就極為關(guān)鍵；而偶爾使用時(shí)，可適當(dāng)降低對(duì)設(shè)備部分性能的要求。

在眾多精密環(huán)控設(shè)備供應(yīng)商中，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司值得關(guān)注。作為南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）憑借深厚的技術(shù)沉淀與持續(xù)的創(chuàng)新熱忱，在行業(yè)內(nèi)嶄露頭角。該公司擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，涵蓋溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求。其研發(fā)的精密環(huán)控柜蕞高可實(shí)現(xiàn)±0.002℃高精密溫度控制，以及潔凈度十級(jí)的潔凈環(huán)境，已成功為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密儀器提供穩(wěn)定工作環(huán)境，服務(wù)了多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與**重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 北京微電子精密溫控